삼흥에너지 전기로·튜브퍼니스 선택 가이드

실험셋업연구소(rndsetup.com)는 삼흥에너지(SH Scientific) 전기로·튜브퍼니스 취급점으로, 머플로·튜브로·CVD·회전로 전 라인의 견적·설치와 국내 방문 A/S를 맡습니다. 온도컨트롤러에 Alicat MFC 가스 유량을 연동한 무인·재현 셋업도 함께 구성합니다.

같은 모델이라도 챔버 크기·튜브 구경, 진공·가스 라인, MFC·BPR, 컨트롤러·안전 옵션 구성에 따라 가격 차이가 큽니다. 다루는 시료와 공정(목표 온도·분위기·승온 조건)을 남겨 주시면 맞는 모델과 구성으로 견적을 드립니다.

대기 중 소성·회화·열처리처럼 시료가 크거나 양이 많으면 박스형 머플로, 시료를 관 안에 넣고 N₂·Ar·H₂ 같은 가스 분위기나 진공에서 처리해야 하면 관상형 튜브퍼니스를 고릅니다. 최고온도는 1200℃(칸탈)·1500℃(SiC)·1700~1900℃(MoSi₂) 발열체로 나뉩니다.

목표 가스(예: N2, Ar, H2, 공기)마다 질량유량계(MFC)를 두어 각 유량을 설정하면 원하는 분위기와 혼합비를 재현성 있게 유지할 수 있습니다. 여러 MFC를 제어 소프트웨어로 묶으면 승온·유지·냉각 구간별로 유량과 혼합비를 스케줄링해 불활성·환원 등 분위기를 일정하게 재현할 수 있습니다.

가능합니다. 온도컨트롤러의 승온 프로파일(램프·유지·냉각)에 맞춰 Alicat MFC의 가스 유량과 혼합비를 자동으로 바꾸도록 제어 소프트웨어로 연동할 수 있습니다. 예를 들어 특정 온도 구간에서 가스 비율을 변경하는 식으로, 온도와 가스를 하나의 스케줄로 묶어 재현성 있게 실험할 수 있습니다.

온도 스케줄과 가스 유량을 소프트웨어로 함께 스케줄링하면 승온부터 냉각까지 사람이 계속 지키지 않아도 정해진 프로파일대로 진행되고 데이터가 기록됩니다. 안전 조건(가스·온도 한계 등)을 함께 설정해 두면 무인·재현 열처리 셋업으로 운용할 수 있습니다.